ALICAT抗腐蚀型气体质量流量计/控制器_MFC_半导体器件_设备馆

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：：产品描述：：

美国ALICAT 21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21S系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。

产品特点 ：

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快仅需100ms(可调)
● 内置130种常规以及腐蚀性气体（如介质是氯气CL2 或二氧化硫SO2，订货时，需特殊说明）
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体

技术参数 ：

介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类：内置了130种气体，请咨询

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）

量程比：100:1

最大显示流量：102.4%FS

显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

预热时间：<1s

响应时间：100ms

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ºC

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准最大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA ～ 750mA

电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量