气体稀释仪/气体混合配比仪/混配仪-HXGM系列_无毒气体类_MFC_半导体器件_设备馆

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产品描述：

HXGM系列气体混合配比仪/混配仪，采用了高精度质量流量控制器、高效气体混合皿等核心部件，可以精确、均匀、快速地混合配比多路气体。由于使用了质量流量进行气体测控，因此混配仪可以不受介质压力、温度的影响。

接液材质上，HXGM系列混配仪管路均采用了316L不锈钢材质，并具有多种材料诸如NBR、PTFE、FKM、全金属等进行密封，因此适用于绝大部分的气体。

使用上，每一路气体控制器全部为自动化控制，流量控制更加智能化，并且可以方便地通过触摸屏、电脑软件、显示仪表、无线远程网络等途径进行观察、控制、数据保存和处理。仪器使用简便，可靠耐用，广泛应用于大学/研究院、环境监控、食品、工业气体控制等各行各业。

产品特色：

● 2路到多路气体混合配比，不限气体种类和数量

● 每路气体测控重复性精度高达0.5%F.S.

● 稀释比范围宽，从PPB级别到PPM级别到100%

● 多种密封材质，支持腐蚀性气体和有毒有害气体

● 混气快速，节省客户时间和气源

● 采用高效混气皿核心部件，混气均匀平稳

● RS485接口，数据管理功能，可方便对数据进行观察和保存

● 诸多定制选项：例如压力、温湿度、浓度的测量，无线传输等

典型应用：

·浓度校准 ·大学/研究院 ·半导体 ·材料研制行业

·脱硫脱硝 ·环境监测 ·石化天然气 ·焊接与蚀刻

·食品消毒/杀菌/保鲜/包装等 ·分析仪器 ·微电子行业

·工业反应器气体供应 ·其它工业气体测控与合成行业

应用场合图

性能指标：

介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体

介质种类：种类不限，可由客户指定，也可现场更改-需咨询

混气路数：2路～18路任选，也可定制更多混气路数

标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）

总气体量：0～4000SLM范围内，更多请咨询

混气稀释比：从100PPB～1PPM～100% 可调，可定制

控制重复性精度：±0.5%满量程

工作压差范围：0.1～0.5MPa

最大耐压：3MPa，中压可选10MPa，高压可选50MPa

响应时间：2S，可选快速选项100mS

输入介质温湿度：5～45℃ 0～100%RH（无冷凝）

输出信号：标准为RS485，可选RS232、Modbus

供电电压：220VAC，50HZ

泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He）

接液材质：316L SS

密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等

管道接头：1/8〃 1/4 3/8 1/2 双卡套，或3 6 8 10 12mm光管

显示方式：电脑软件，触摸屏，显示二次仪表，可同时存在

外形尺寸及重量：根据路数而定，具体请咨询

订购信息：

· 几路气体控制 · 气体种类 · 流量范围

· 工作温度 · 入口压力 · 出口压力

· 管道连接尺寸和类型 · 输入/输出信号

· 安装姿势 · 选项及其它特殊要求：请咨询我们