热式气体质量流量控制器_MFC_半导体器件_设备馆

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概要

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。 MFC出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分) 标准状态规定为：温度---273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：满量程值

产品特点

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

应用行业

化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

质保与服务

我公司承诺对产品的质保期为叁年。在您收货后叁年以内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有被损毁、改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换新品。在保修期外，我们提供终身维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费。维修和维护后，维修部分的质保期为壹年。我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并且提供产品的使用培训。

规格参数

型号	SQC-100
流量量程(N2)	0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
流量量程(N2)	0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
精度	±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
控制阀动作型式	常闭式
线性	±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
重复精度	±0.2%F.S.
响应时间	≤1sec
输入输出信号	0~5V
电气接头	DB15 pin(针形)
工作环境温度	5~45℃
工作压差	0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM)
漏率	1*10-8SCCS(He)
最大耐压	3MPa
介质接触材质	316不锈钢和密封材料
密封材料	氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,金属密封
接头尺寸	VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm
电源要求	+15V,50mA;-15V,200mA