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一、产品用途
本机主要用于蓝宝石、硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨,也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。
二、 主要特点
2.1、高性能变频器配合三相异步电动机拖动,实现了软启动、软停止、调速平稳、 冲击小;
2.2、采用三电机同步拖动,中心齿轮的变速(即可正转,也可反转)范围广,工艺调整方便;
2.3、该设备采用可编程控制器(PLC)控制,PT人机界面显示设备各项运行参数,压力采用电-气比例阀闭环控制,压力控制精确稳定;
2.4、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺,每套工艺可以设定二十步参数(压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等),以供操作工调用,。
2.5、该机具有研磨盘自动称重功能,以此配合研磨压力设定,可自动消除由于研磨盘磨损而造成的压力不稳定现象,从而保证了同样研磨工艺参数(所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量)的研磨效率长久不变。
2.6关键外购元件采用进口配套,保证了设备的使用可靠性要求。
三、 设备基本参数
3.1、 研磨盘规格(外径×内径×厚度): φ914mm×φ534mm×50mm
3.2、 游星轮规格
公制: M=2 Z=114 α=20°
英制:DP12 Z=108 α=20°
3.3、 最小研磨厚度: 0.15mm
3.4、 最多安装游轮数量:9个
3.5、 加工能力: 36片 /φ75mm,72片/φ50mm
3.6、 最大研磨直径: φ180mm
3.7、 下盘转速: 0-40rpm
3.8、 主电机: 7.5kW AC380V 1460rpm
3.9、 太阳轮电机: 1.5 kW AC380V 1400rpm
3.10、 齿圈电机:1.5 kW AC380V 1400rpm
3.11、 外型尺寸:1290mm×1600mm×2850mm
3.12、 重量:约3000kg
四、 基本配置
4.1、气动元件 SMC
4.2、减速器 国产
4.3、轴承 国产
4.4、可编程控制器〔PLC〕 OMRON
4.5、可编程人机界面PT OMRON
4.6、拉力传感器 国产
4.7、变频器 施耐德
4.8、低压电器 213、魏德米勒等
4.9、 旋钮开关、电器开关 213、和泉等
4.10电机 国产
五、主机精度
5.1、下研磨盘端面跳动≤ 0.06mm
5.2、上、下研磨盘平面度≤0.02mm
六、设备的安装
设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。
a 温度10℃-25℃
b 相对湿度≦95%
c 电源电压AC 380V ,50Hz
d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(干燥的清洁空气)
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