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    X61 D13B3M-9T型双面研磨机

    产品品牌

    赫瑞特(兰州瑞德)

    规格型号:

    13.9B双面研磨机

    库       存:

    100

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:赫瑞特(兰州瑞德)

    型号:13.9B双面研磨机

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-研磨机

     X61 D13B3M-9T型研磨机技术规格书

    一、产品用途

    本机主要用于蓝宝石、硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨,也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

    二、 主要特点

    2.1、高性能变频器配合三相异步电动机拖动,实现了软启动、软停止、调速平稳、 冲击小;

    2.2、采用三电机同步拖动,中心齿轮的变速(即可正转,也可反转)范围广,工艺调整方便;

    2.3、该设备采用可编程控制器(PLC)控制,PT人机界面显示设备各项运行参数,压力采用电-气比例阀闭环控制,压力控制精确稳定; 

    2.4、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺,每套工艺可以设定二十步参数(压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等),以供操作工调用,。

    2.5、该机具有研磨盘自动称重功能,以此配合研磨压力设定,可自动消除由于研磨盘磨损而造成的压力不稳定现象,从而保证了同样研磨工艺参数(所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量)的研磨效率长久不变。

    2.6关键外购元件采用进口配套,保证了设备的使用可靠性要求。

    三、 设备基本参数

    3.1、 研磨盘规格(外径×内径×厚度): φ914mm×φ534mm×50mm

    3.2、 游星轮规格

    公制:  M=2    Z=114  α=20°

    英制:DP12    Z=108  α=20°      

    3.3、 最小研磨厚度:     0.15mm

    3.4、 最多安装游轮数量:9个

    3.5、 加工能力:        36片 /φ75mm,72片/φ50mm

    3.6、 最大研磨直径:    φ180mm

    3.7、 下盘转速:        0-40rpm

    3.8、 主电机:      7.5kW   AC380V    1460rpm

    3.9、 太阳轮电机:  1.5 kW  AC380V    1400rpm 

    3.10、 齿圈电机:1.5 kW  AC380V    1400rpm

    3.11、 外型尺寸:1290mm×1600mm×2850mm

    3.12、 重量:约3000kg

    四、 基本配置

    4.1、气动元件                                SMC

    4.2、减速器                           国产

    4.3、轴承                                 国产

    4.4、可编程控制器〔PLC〕                        OMRON  

    4.5、可编程人机界面PT                          OMRON

    4.6、拉力传感器                             国产

    4.7、变频器                              施耐德

    4.8、低压电器       213、魏德米勒等

    4.9、 旋钮开关、电器开关                213、和泉等

    4.10电机                                        国产

    五、主机精度

    5.1、下研磨盘端面跳动≤ 0.06mm

    5.2、上、下研磨盘平面度≤0.02mm

    六、设备的安装

       设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

        a 温度10℃-25℃

        b 相对湿度≦95%

    c 电源电压AC 380V ,50Hz

    d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(干燥的清洁空气)

     

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