混合配比仪_无毒气体类_MFC_半导体器件_设备馆_半导体商城-应用于半导体领域

热门产品

看了该商品的顾客还看了

MIH1000系列气体混合配比仪的核心部件为气体质量流量控制器，可以对各组份气体的流量进行精确控制，并配备高效混气装置，可以将各组份气体均匀混合后输出。

本系列产品可选择直接连电脑和采用触摸屏两种方式进行设定显示，操作简单，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
产品特点

◆精度高：采用高精度质量流量控制器，质量流量控制器的精度为±1%F.S.重复精度优于±0.2% F.S.，线性优于±0.5% F.S.（可定制更高精度）；
◆气体种类数量无限制：可同时配制2种到10多种标准气体；
◆稀释比范围宽：可从1ppm到100%进行稀释；
◆响应时间快：配比出稳定浓度气体的时间短，大大减少用户试验时间以及气源消耗；
◆抗腐蚀：管路系统均采用标准316L不锈钢配件，对腐蚀性气体及有毒有害气体均可以进行配气；
◆混气均匀：汇流处配有高效混气装置，让进入其中的各支路气体快速、均匀地混合；
◆扩展性强：除了气体比例混合功能外，还可以根据用户的一些特殊要求加入定制功能，例如温度、压力显示，浓度传感等；
◆通讯方便：标准 RS485 通讯接口（可选），可与计算机实现双向通讯；
◆数据管理功能：软件控制界面可选带有实验数据保存与导出功能，让您的实验数据可随时查看。而且还带有实验数据曲线图，清晰明了，直观便捷。

总气量范围	0～200SLM（可在此范围内任意定制）
稀释配比范围	1ppm到100
流量单位	SCCM (标准毫升/分) / SLM（标准升/分）
精度误差	±1％F.S.（可定制更高）
工作压差范围	0.1～0.5MPa
最大耐压	3MPa(可定制更高)
对外单点泄漏率	≤1×10-9Pa·m3/S(He)
响应时间	≤2sec
输出信号	标准RS485.RS232（可选）
介质输入温度	5～45℃
工作环境温度	5～45℃
工作环境湿度	＜80RH
供电电源	220VAC±10，50Hz
介质接触材质	氟橡胶，硅橡胶，丁晴橡胶，聚四氟乙烯，金属密封型
接头尺寸	Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12
显示方式	电脑 / 触摸屏 / 仪表