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4001027270
- 产品名称：2英寸6片W620型设备
- 产品介绍：
主要技术参数：
1、生长晶片尺寸： 2英寸6片；
2、生长温度控制范围：300-1300℃；
3、最大生长速度：大于3um/小时；
4、反应室压力控制范围20-900托，连续可调，控制精度1托（200-900托）；0.2托（20-200托）；
5、系统气密性：管路系统漏气率<1X10-9PaL/S；
6、外延膜的均匀性和重复性优于±5%；
7、配备：（可根据用户要求配置）
4路气体：（H2,N2,NH3,SiH4）
6路MO源：（TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin）
7、主机外形尺寸：4800×800×2200mm（L×W×H）（不包括RF电源）
