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REFLEX TT型台式手动晶片缺陷检测设备
REFLEX TT型台式表面检测设备用于检测晶片表面颗粒、划痕，区域缺陷和微粗糙（Haze）。该检测设备可用于不同形状、尺寸的样片：2”至300mm的晶片，和最大尺寸为8”*8”方形掩膜版。采用了先进的激光二极管光源和具有专利权的光学收集系统。该设备是非常灵活的设备，可用于研发和小规模生产中的工艺优化和杂质的检测。
产品特点：
颗粒敏感度可达到65nm LSE;
激光暗场测量技术；
可用于各种形状的，尺寸的晶片；
集成的微处理器和平板显示；
可进行离线分析；
自动缺陷分类软件。
产品优势：
理想的工艺研发工具；
操作界面友好；
多用户界面；
占地面积小。
应用范围：
硅；
玻璃；
掩膜版；
半导体化合物：GaAs,GaN,GaAlN…
硅衬底上的透明薄膜；
金属薄膜；
非晶硅、多晶硅；
OLED
先进的光伏材料。
