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【W系列—弧高台阶仪】
专利号：ZL201120280620.7
探测系统：
显微探头：实现快速弧高及台阶测量，可测弧高台阶范围50～2000μm（一般弧高的高度不超过800μm），并支持器件几何尺寸测量；
激光探头：
实现快速台阶测量，可测台阶范围2～500μm，并支持表面轮廓扫描。
系统配置：
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用途
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1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量
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型号
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WB-70RX
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载物台
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全自动载物台
行程：105mm X 105mm
支持夹具定制
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聚焦
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电动聚焦系统，解析率：1.0μm
显微探头：含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
激光探头：含影像辅助定位功能
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照明系统
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环形、同轴照明可选
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软件系统
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图像处理软件系统，
带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块
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检查性能
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显微探头：高度测量3σ≤3.0μm，精度±3um;
激光探头：高度测量3σ≤0.2μm，精度±0.2um;
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标配外观尺寸
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长：800mm 宽：750mm 高：1500mm
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