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NXRJ-CZ9022 B/P |
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| 主要功能参数 | NXRJ-CZ9022 B/P | |
| CCD | 相素 | 2,000,000 |
| 个数 | 单CCD | |
| IRCON | 精度 | 0.1ºC |
| 晶料相关 | 装料量 | 120Kg |
| 通用直径 | 8"/或非标 | |
| 坩锅直径 | 20"/22" | |
| 晶棒最长尺寸 | 2010mm | |
| 机器外型 | 中炉内径 | 900mm |
| 机器安装面积 | 1750x1550mm | |
| 机器高度 | 7300mm | |
| 炉体重量 | ~4200Kg | |
| 电源系统 | 输入电源 | 三相AC380V±5% 240KVA |
| 电源频率 | 50HZ/60HZ | |
| 加热器功率 | Max:165Kw Dc55V 3000A | |
| 电源装置 | 1GBT/可控硅 | |
| 可控硅&变压器 | 全水冷数字CPU控制 | |
| 双LCD显示屏 | 有 | |
| 籽晶升降 | 籽晶行程 | 3200mm |
| 籽晶升速 | 低速0~10mm/min | |
| 高速600mm/min | ||
| 籽晶转速 | 0~40RPM | |
| 籽晶绳材质 | 钨质直径2.5mm | |
| 坩埚升降 | 坩埚行程 | 380mm |
| 坩埚升速 | 低速0~0.5mm/min | |
| 高速100mm/min | ||
| 坩埚转速 | 0~21RPM | |
| 最大载重 | >220Kg | |
| 其他 | 籽晶晃动范围 | 转速<12RPM时晃动<2mm |
| 炉体水平度 | 水平<0.06mm/m | |
| 极限真空 | <3mT | |
| 真空漏气率 | <0.5mT/min | |
| 控制方式 | PLC | 三菱Q06H/基恩士PLC |
| PC | 高性能PC(双屏) | |
| 自动/手动 | 全自动 | |
| 称重系统 | 精度 | 无 |
| 液面测温 | 控制范围 | 无 |
