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    GPP晶圆划片机 晶圆激光划片机 武汉大海光电

    产品品牌

    武汉大海光电

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

    品牌:武汉大海光电

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-划片设备-激光划片机

    • 型号:HSU-D5W /HSF-D20W

      GPP晶圆划片机 晶圆激光划片机 武汉大海光电

     

     

    晶圆激光划片根据不同的产品材料,采用紫外激光(355nm)或者红外激光(1060nm)作为切割工具,切线质量优越。无接触式加工避免加工产生的应力,有效提高晶粒的切割质量和效率,加工后的芯片具有优良的电学特性。配有手动切割和CDD图像处理系统,能实现手动切割或自动切割。

    产品特点:

    先进的硬件控制技术和智能化软件

    激光光束质量优异,聚焦光斑小,激光器寿命长

    整机高可靠性、高稳定性、高安全性

    高精度二维运动平台,高精度旋转平台

    切割后晶粒质量优越和极高的成品率

    按键面板控制,操作简单便捷

    手动切割和自动切割功能

    应用领域:

    广泛应用于可控硅单双台面晶圆,蓝宝石GaN衬底切割

    技术参数:

    设备型号

    HSU-D5W

    HSF-D20W

    输出功率

    5W@20KHZ

    20W

    激光波长

    355nm

    1060nm

    功率调节范围

    10%-100%

    重复频率

    10-80KHZ

    标刻线宽

    ≤0.01mm

    切割速度

    50mm/s

    200mm/s

    直线电机工作台定位精度

    ±2μm

    直线电机工作台重复精度

    ±1μm

    直线电机工作台有效行程

    260mmх300mm

    CCD自动定位精度

    ±7um

    θ旋转精度

    ±0.002mm

    电力需求

    AC220V   50Hz

     

     

     

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