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- 产品型号 CH-12
- 产品描述
适宜12英寸以内样品测试，高端型手动探针台， 可加载激光器、金相显微镜。
PS：探针台属于非标产品，均可根据客户需求进行定制
产品介绍
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12''高端探针台 12'' probe station |
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• 总重约 150千克 • 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH • 12" 卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制，中心吸附孔最小可以选择250微米 • 卡盘平整度: 5µm, 标准卡盘可360度无间隙旋转 • 卡盘X/Y轴无间隙移动，大手柄旋转控制，行程：12英寸X 12英寸，移动精度：1um，并带锁死装置 • 可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动,精度1微米（系统不包含显微镜） • 可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜，带自动锁定功能 • 平台快速升降行程 6mm并带自动锁定功能 • 平台上下微调行程25mm，升降精度1um • 平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位
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