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CINDBEST CL系列 | 6~8" 精密I-V测试测量探针台系统
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特点 / 应用
l 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等. l 最大可用于8英寸以内样品测试 l 同轴丝杠传动结构，线性移动 l 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 l 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用
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规格
l 台体：
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尺寸 |
6英寸/8英寸 |
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水平旋转 |
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
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X-Y移动行程 |
4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
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X-Y移动精度 |
10微米/1微米 |
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样品台Z轴调节 |
可升降10mm |
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样品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
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针座平台 |
U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
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背电极测试 |
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
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外形尺寸 |
400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
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重量 |
约40千克/60千克 |
l 光学系统：
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显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移动行程 |
X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm |
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光源 |
外置LED环形光源/同轴光源 |
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CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
l 定位器：
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X-Y-Z移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移动精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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线缆 |
同轴线/三轴线 |
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漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
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接头类型 |
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
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针尖直径 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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针尖材质 |
钨钢/铍铜 |
l 可选附件
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加热台 |
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显示器 |
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转接头 |
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射频测试配件 |
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屏蔽箱 |
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光学平台 |
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镀金卡盘 |
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光电测试配件 |
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高压测试配件 |
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显微镜快速倾仰装置 |
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激光系统 |
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探针卡夹具 |
PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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