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特点 / 应用 l 满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等 l 最大可用于6英寸以内样品测试 l 同轴丝杠传动结构,线性移动 l 可放置于手套箱内使用 l 形状轻巧,操作方便,价格实惠 |
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尺寸 |
4英寸/6英寸 |
水平旋转 |
可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 |
4英寸*4英寸 |
X-Y移动精度 |
10微米 |
样品台Z轴调节 |
可升降10mm |
样品固定 |
真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
针座平台 |
U型针座平台,最多可放置6个探针座 |
背电极测试 |
样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 |
400mm长*400mm宽*500mm高 |
重量 |
约25千克 |
l 光学系统:
显微镜类型 |
单筒显微镜/体式显微镜 |
放大倍率 |
16X-200X |
移动行程 |
水平方向绕立柱360度旋转,Z轴50.8mm |
光源 |
外置LED无极调节亮度环形光源 |
CCD |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
l 定位器:
X-Y-Z移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
移动精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
线缆 |
同轴线/三轴线 |
漏电精度 |
10pA/100fA/10fA |
固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
接头类型 |
BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
针尖材质 |
钨钢/铍铜 |
l 可选附件
加热台 |
显示器 |
转接头 |
射频测试配件 |
屏蔽箱 |
光学平台 |
镀金卡盘 |
光电测试配件 |
PS:探针台可根据客户要求定制。
规格及设计如有更改,恕不另行通知。
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