DS-2000/14G型光刻机_UV光刻机_光刻设备_半导体加工设备_设备馆

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DS-2000/14G型光刻机上海佰芯设备商城

◆ 光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）；
◆ 照明均匀性：2%；
◆ 物镜倍率：14倍
◆ 曝光场面积：1mm×0.75mm
◆ 光刻分辨力：1 μm
◆ 工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；
工件台运动定位精度：0.65μm；
◆ 调焦台运动灵敏度：1μm；
◆ 对准精度：2μm；
◆ 调焦台运动行程：6mm
◆ 检焦：CCD检测，检测精度2微米
◆ 转动台行程：±6°以上
◆ 基片尺寸
外径:Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm
◆ 外形尺寸：840mm（长）450mm(宽) 830mm（高）

技术特征◆采用DMD作为数字掩模，像素1024768
◆采用14倍缩小投影光刻物镜成像，一次曝光面积约1mm×0.75
◆采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。
◆采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进◆口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应◆100mm100mm基片。
◆采用CCD检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。
◆具备对准功能

配置◆照明系统
   350W直流汞灯（德国）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm滤光片、气动快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇。
◆投影物镜(可根据用户要求设计增加，如2.8倍、5倍、10倍等)
◆分辨力1μm（缩小倍率14倍）
◆工件台系统
X台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅（美国）
Y台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅2（美国）
   转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系
Z台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构
   承片台：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
◆检焦系统
   焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件
◆对准系统
　　对准光学检测系统、CCD、对准软件
◆电控系统
　　　汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19英寸液晶）、接口
◆花岗岩平台
◆控制柜桌
◆气动系统
电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
◆技术资料：操作说明书
◆选配件
350W直流高压汞灯（每增加1只3000元）、承片台（每增加1个800元），投影物镜（每增加一种3万）
◆其他附件
真空泵一台(无油泵)
空压机一台（静音泵）
管道
◆技术资料
使用维修说明书
使用操作DVD

安装环境要求◆要求的站地面积：2m1.5m
◆供电要求：交流220V，8A
◆洁净度：最好优于10000级