SR300 光谱反射薄膜测厚仪上海佰芯_非接触式测厚仪_测厚设备_半导体测试设备_设备馆

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SR300 光谱反射薄膜测厚仪

◆ 波长范围：400到1100 nm
◆ 光斑尺寸：500μm至5mm
◆ 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm
◆ 基板尺寸：最多可至50毫米厚
◆ 测量厚度范围：20nm到50μm
◆ 测量时间：最快2毫秒
◆ 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
◆ 重复性误差：小于1

SR300特点

◆ 易于安装
◆ 基于视窗结构的软件，很容易操作
◆ 先进的光学设计，以确保能发挥出最佳的系统性能
◆ 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
◆ 独特的光源设计，有着较好的光源强度稳定性
◆ 有四种方法来调整光的强度：
§ 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小
§ 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整
§ 调整光束大小
§ 通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间
◆ 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率
◆ 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
◆ 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
◆ 系统配备大量的光学常数数据及数据库
◆ 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；
◆ 可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量。
◆ 通过模式和特性结构直接测量。
◆ 能够应用于不同类型、不同厚度的基片测量。
◆ 提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量。
◆ 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

SR300系统配置

◆ 型号：SR300
◆ 探测器： 2048像素的CCD线阵列
◆ 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
◆ 光传送方式：光纤
◆ 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小
◆ 软件： TFProbe 2.2版本的软件
◆ 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
◆ 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
◆ 电脑硬件要求：P3以上、最低50 MB的空间
◆ 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
◆ 保修：一年的整机及零备件保修

SR300应用

◆ 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
◆ 液晶显示（ITO，PR，cell gap... ..）
◆ 医学，生物薄膜及材料领域等
◆ 油墨，矿物学，颜料，墨粉
◆ 医药，中间设备
◆ 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
◆ 半导体化合物
◆ 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
◆ 非晶体，纳米材料和结晶硅