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    光声光谱分析仪 SPTr-GAS® Analyzer

    应用于半导体行业:

    半导体器件-仪器仪表-气体检测仪

    库       存:

    10000

    产       地:

    中国-江苏省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体器件-仪器仪表-气体检测仪

     

    舒茨SPTr-GAS® ANALYZER 光声痕量气体分析仪,配置触摸显示控制屏,菜单结构分布合理,直观友好的操作界面,所有状态显示,门限值和报警值都以模拟及数字方式提供。实时显示检测浓度曲线,全自动或手动零点校准,由客户自由选择。检测精度高,稳定性好,适用于各类痕量气体浓度检测场合。


    有效屏蔽检测环境中湿度干扰:红外湿度检测模块直接配置在光声模块内部。

    屏蔽温度不稳的干扰:光声光谱加热到50度并维持此温度下进行检测。

    屏蔽其他气体干扰:通过检测微弱光声信号,通过精准信号放大并计算气体浓度

    内部集成气泵和三个采样点自动控制阀

    分析仪配置内部多种精细过滤器,过滤粉尘、水汽、干扰气体等

    每个检测点附近采样管上安装可更换滤尘器

    自动用空气校准零点,全自动执行,无需手动

     

     

    光声光谱法是基于光声效应的新型光谱技术,有别于传统的红外光谱技术,它将光信号有效转换成声信号,并通过精密微音器对声音信号的检测计算得到最终的气体浓度。由于光声光谱技术的特殊光学结构以及在信号采集、信号处理过程中的特殊计算过程,使此方法能高效采集微弱光声信号,并有效剔除背景信号的干扰,非常适用于痕量气体浓度检测领域,以及在复杂环境中的无干扰检测。


     

    气体

    气体范围

    线性误差

    检测精度

    背景气体

    NH3

    Ammonia

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    NH3

    Ammonia

    0…1 g/m3

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    C5H10

    Cyclopentane

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C3H6O

    Acetone

    0…2000ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    C2H6O

    Ethyl Alcohol

    0…2000ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    C3H8O

    Isopropyl Alcohol

    0…1000ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    CH4O

    Methyl Alcohol

    0…500ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    NF3

    Cyclopentane

    0…20ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    N2O

    Nitrous Oxide

    0…500ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    C2Cl4

    PERC

    0…800ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    SO2F2

    ProFume®

    0…1 g/m3

    0…1000ppm

    1…150 g/m3

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    CCl3F

    R11

    0…500ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    C2Cl3F3

    R113

    0…50ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C2F6

    R116

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    CCl2F2

    R12

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C2HCl3F2

    R122

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C2HCl2F3

    R123

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    CClF3

    R13

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    CF4

    R14

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    CHClF2

    R22

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    CHF3

    R23

    0…150ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C8H8

    Styrene

    0…50ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    SO2

    Sulfur dioxide

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    SO2

    Sulfur dioxide

    0…1000ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    SF6

    C8H20O4Si

    TEOS

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C2HCl3F2

    Toluene

    0…100ppm

    0.5ppm / 0.1% FS

    0.1ppm / 0.1% FS

    Air or N2

    C2HCl3

    TRI

    0…1000ppm

    0.1% FS

    0.1% FS

    Air or N2

    CH3Br

    Methyl Bromide

    0…2 g/m3

    0.1% FS

    0.1% FS

    N2 (only)

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