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TX-A 系列 X-A系列可加热和制冷 无锡溥汇机械冷水机
客户选择TX-A系列是因为其紧凑的尺寸，精确的温度控制和其高可靠性。 TX-A系列可加热和制冷。您也可以选择一个更宽控温度范围，或为您定制一个特殊的配置。
- 【应用领域】
- 半导体设备 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)
- 激光设备
- 分析设备
- 扫描电子显微镜
- Turbo或扩散泵
- 太阳能/平板显示器
【性能参数】
●低温可到-40℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●对应各主机厂商通信协议【产品规格】
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单通道热交换器
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单通道
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单通道低温
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双通道
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双通道低温
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TX-30S
【性能参数】
●水/液体热交换器,高温可到200℃
●超级节能
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议
【产品规格】
| 型号 | TX-30S |
| 温度控制 | 温度控制范围 :+30℃～+110℃（FW：facility water； 200℃:Optional） 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG |
| 泵 | TX-30SGLI: 磁耦合泵 1.5Kw； 20 liter/min at 0.50MPa 30SDII : 不锈钢泵 2.2Kw；50 liter/min at 0.75MPa |
| 热交换能力 | 5kw @+30℃～+110℃ |
| 加热丝 | 6Kw |
| 外形尺寸 | 485（W）×760（D）×1300mm（H） |
| 重量 | 约120Kg |
| 电源 | 3相AC208V(380V) 30A |
TX-20A
【性能参数】
●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,metal,EXELAN)
【产品规格】
| 型号 | TX-20A |
| 温度控制 | 温度控制范围 : -20℃～+35℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG |
| 泵 | 1.1Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135) |
| 冷冻机 | 冷却能力:2kw @-10℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃ |
| 加热丝 | 4Kw |
| 外形尺寸 | 484（W）×675（D）×1200mm（H） |
| 重量 | 约120Kg |
| 电源 | 3相AC208V(380V) 30A |
【冷却能力曲线】
TX-20AL
【性能参数】
●低温可到-40℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议
【产品规格】
| 型号 | TX-20AL |
| 温度控制 | 温度控制范围 : -40℃～+35℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG |
| 泵 | 1.1Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135) |
| 冷冻机 | 冷却能力:2kw @-10℃；500w @-40℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃ |
| 加热丝 | 3Kw |
| 外形尺寸 | 484（W）×675（D）×1200mm（H） |
| 重量 | 约120Kg |
| 电源 | 3相AC208V(380V) 30A |
【冷却能力曲线】
TX-2020A
【性能参数】
●双循环通道
●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议
【产品规格】
| 型号 | TX-2020A； 通道1，通道2 |
| 温度控制 | 温度控制范围 : -20℃～+80℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG |
| 泵 | 1.1Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135) |
| 冷冻机 | 冷却能力:2kw @-10℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃ |
| 加热丝 | 4Kw |
| 外形尺寸 | 760（W）×1200（D）×1600mm（H） |
| 重量 | 约350Kg |
| 电源 | 3相AC208V(380V) |
【冷却能力曲线】
TX-2020AL
【性能参数】
●低温可到-20℃
●磁耦合泵,无泄漏
●使用环保可替代冷媒
●可远程控制(CMS)
●服务于200mm（8英寸），300mm（12英寸）；对应各主机厂商通信协议
【产品规格】
| 型号 | TX-2020AL； 通道1，通道2 |
| 温度控制 | 温度控制范围 : -20℃～+80℃ 温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时) 循环液 :Novec;Galden;DI/EG |
| 泵 | 1.5Kw磁耦合泵 20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135) |
| 冷冻机 | 冷却能力ch1:3kw @10℃; ch2:6kw@10℃ 冷媒:HFC 冷却水:14L/min @+25℃ |
| 加热丝 | 4Kw |
| 外形尺寸 | 660（W）×960（D）×1600mm（H） |
| 重量 | 约350Kg |
| 电源 | 3相AC208V(380V) |
【冷却能力曲线】
