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该清洗设备是湿法处理设备,能够处理ACT 915、IPA与DIW清洗的过程.设备外壳采用304不锈钢拉丝板,槽体采用316L电解抛光不锈钢。快排槽支持底部注水, 顶部喷淋, 快排。
系统的硬件由PLC来控制,具体是从状态传感器得到一个输入,由此来控制和监视系统的一些功能。操作者通过彩色的触摸屏来操作。软件在输入密码的状态下是完全受控制的。包括机台的组成和每个槽的监控,以及菜单的多样编辑都受控。
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