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本设备为浸泡式清洗机，用于扩散、外延等设备的石英管，碳化硅管的清洗
设备功能：用于石英炉管的清洗，操作员手工放入，在清洗槽内自动旋转，酸腐蚀后DIW冲洗，然后手工取出。
• 不锈钢骨架，白色的PP外壳，底盘采用挤出式焊接工艺，杜绝渗漏风险；
• 机台侧部安装有可旋转式的触摸屏；
• PLC控制工艺过程，用户界面进行编程和监控；
• 工艺槽内石英炉管可做旋转运动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体； 清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪。
• 工艺槽内石英炉管可做旋转运动，有一定的倾斜角度以利于排空内部液体；
• 后部的排气装置，有可调节的气闸；
• EMO紧急按钮；
• 三色警灯；
• 前部和后部维修门设计；
• 后部自动供酸系统接口设计；
• 清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。
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SPMC的生产车间宽敞，布局合理，有1600平米加工制造车间、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻机；200平米千级和万级的洁净室；配备洁净空气、氮气及去离子水；208伏和308伏的三相电压；配套了先进的进口焊接、剪裁、测试及装配工具。 |
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