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适用：惰性气体N2、Ar、He。独家专用纯化技术脱除原料气中的O2、CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳氢化合物至PPb级。
※HPC终端OM系列纯化器适用于原料气指标波动较大，杂质两级脱除，全面保证用户的材料气品质与纯化器的使用寿命。
产品特点 ：
◆ 抗原料气波动能力强。多级纯化工序，
◆脱除杂质深度高
◆不释放碳氢化合物 相比国内现有的纯化工艺，HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物，常温工作，节能环保。非消耗型纯化材料，降低成本，纯化深度高，使用寿命长。
◆性价比高 HPC-M系列所用纯化材料为镍触媒催化剂，非消耗材料，可再生循环使用，成本低。初始调试后直接使用。
应用领域：
光刻
IC（大规模集成电路）
SOI（硅半导体加工）
LED（半导体照明）
PV（光伏太阳能）
化合物半导体
零点气纯化
气体净化、
高纯度焊接
