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    KIZI精密平面CMP抛光机

    库       存:

    1000

    产       地:

    中国-广东省

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-晶圆减薄抛光设备-抛光机

     

    应用领域:
    蓝宝石、硅片、陶瓷片、鐘化镓片等硬脆薄材料超精密平面研磨、抛光。


    特点:

    ●伺服修盘系统,确保磨盘足够的平坦度;

    ●磨盘在线检测恒温系统,防止工件变形及脱落;

    ●多段或柔韧加压系统,满足复杂的加工工件工艺要求;

    ●KIZI独创高效耐磨铜抛磨盘,大大提高效率及降低使用成本;

    ●数字化加液系统,减少磨液损耗;

    ●快速定位装置,提高生产效率;

    ●四工位独立变速控制系统。


    规格及技术参数:

                       型号

    技术参数

        KD24QXL4     KD36QXL4
        磨盘尺寸(mm)      φ630      930
        磨盘转速(r.p.m)      0-100    0-50
        工件盘外径(mm)       248      360
        主电机(kw)

         3.7

         5.5
        电压/三相电压      三相380V.50Hz    三相380V.50Hz
        气压(M pa):      0.4     0.6
        毛重(kg)      1800     3300
        外形尺寸(L*W*H)mm      1500*1700*2260    1600*2450*2350

    备注:由于技术不断更新,以上数据仅供参考,最终以实体数据为准!

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