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| NanoMap-500LS 探针三维轮廓仪（台阶仪） | |||
| 型号 | NanoMap-500LS | NanoMap-LS | NanoMap-ES |
| 基本技术参数 | 具备探针扫描(Tip)和样品台扫描(Stage)两种模式，既可完成长程大面积测量，也可得到最优化的小区域二维/三维观测图。短程探针扫描采用精密的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到 500μm X 500μm，具有亚纳米级垂直分辨率（最小0.1 nm）；长程样品台扫描使用高级光学参考平台，能使扫描范围达到150 mm。这两种扫描方式分别为用户提供精密和快速扫描。适用全系材料测量，几乎可以接纳任何材料表面。在扫描过程中结合彩色光学照相机，可对样品直接观察。 | ||
| 台阶重复率 | 5A | ||
| fine模式Z高度范围 | 5μm | ||
| coarse模式Z高度范围 | 500μm(可选1.5mm) | ||
| Tip Scan模式(XY) | 最大500μm | NO | 最大500μm |
| Stage Scan模式(XY) | 最大150mm(可选200mm等) | 最大300mm | |
| 探针压力 | 0.03-100mg | ||
| 样品台 | 150*150mm(可选200*200mm等) | 300*300mm | |
| 最大样品厚度 | 50mm(可选100mm) | ||
| 样品台旋转 | 360度 | ||
| 样品台倾斜 | 4度 | ||
| 应力分析 | Yes | ||
