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高温无氧化烤箱，半导体制程烤箱用于PI、BCB胶高温固化烘烤。整个箱体结构分为：膛体组件、箱架组件和热风组件三个部分，膛体腔，内表面全镜面设计，风道由左、右、后导风板与箱体内壁组合而成，膛体顶部有排风管道。
高温无氧化烤箱，半导体制程烤箱技术参数：
1. 最高温度：450℃；可自定义
2. 工作室尺寸：450×650×450mm（W×H×D）；可自定义
3. 箱体数量:一个；可自定义两箱、四箱
4. 腔体材料：SUS304镜面不锈钢；
5. 加热元件：不锈钢加热器；
6. 热电偶：国产，K分度；
7. 空箱升温时间：每分钟5度，全程平均；
8. 空箱降温时间：300℃-90℃降温时间为1.5小时左右(采用鼓风冷翅片散热器或气体)；
9. 记录仪:温度和氧含量无纸记录仪；
10. 氧含量-氧分析仪：
高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
11. 温度波动度：±1℃；
12. 温度均匀度：±5%（300℃平台）；
高温无氧化烤箱，半导体制程烤箱基本配置：
1. 控制：每个箱体单独控温、通气、报警保护；
2. 排风口：一个；
3. 控温仪表：日本理化FP23温控仪；
4. 控温段数：20×20段；
5. 控温点数：一点；
6. 超温报警点数：一点；
7. 检测点数：三点；
8. 高温开炉门保护：当温度超过100℃，电子锁自动锁紧，防止高温开门
9. 报警保护：超温、断偶等声光报警保护；
10. 超温保护：独立感温式超温保护器；
11. 电机保护：电机过电流、过热保护；
12. 表面温升：＜30℃；
13. 加热功率：15kW；
14. 保温功率： ≤9kW；
15. 电源：容量大于80KVA，3相5线，220/380VAC，50Hz；
