X62 D16B4M-T-1型双面抛光机_抛光机_晶圆减薄抛光设备_半导体加工设备_设备馆

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X62 D16B4M-T-1型双面抛光机技术规格书

产品简介：本机我公司新一代抛光机，主要用于硅片、宝石、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面抛光，也用于其它硬脆材料的双面高精度抛光加工。

主要特点：

2.1采用四电机同步拖动，变速范围更广，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求；可实现快速修盘功能，提高生产效率。

2.2 加载压力更大，满足大压力加工工艺需求，最大压力可达2000kg。

2.3太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。

2.4上下抛光盘采用斜齿轮传动，并且整机采用全齿轮传动，运转平稳。

2.5采用工控机控制，人机界面显示运转状态及参数设置，压力采用电-气比例阀与压力传感器闭环反馈控制，压力转换过程实现了线性控制。用户可根据抛光工艺进行设置,压力控制精度高，相应速度快。

2.6变频器配合异步电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。

2.7应用人机界面（PT）与工控机通讯，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整、设定各项工艺参数，主操作由面板键钮完成。

2.8采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。

2.9该设备的主要外购件采用进口件，保证了各项性能的高指标。

2.10本机整体为底板龙门式结构，更高支撑刚度和稳定性。上抛光盘上升到最高位置后由横梁上锁定气缸通过安全钩自动锁定，安全可靠稳定。

2.11 设备具有两级液压抬升机构。一级抬升用于齿圈太阳轮升降，行程约35mm；二级抬升用于设备检修，下盘主体整体抬升，最大行程280mm。

2.12 上下抛光盘采用特殊的水冷通道及抛盘结构，实现了上下抛光盘的强制冷却，结合多点温度监测，实现对上下抛光盘温度的精确控制；

2.13 游轮采用销齿传动，提高了啮合强度和接触刚度，同时降低了齿圈太阳轮的维护难度和维护成本；

2.14上盘采用最新的“浮动”连接装置，调心灵活，解决了错盘问题。

主要技术参数：

抛光盘尺寸	φ1145mm×φ360mm×75mm（带水冷基盘）
齿圈参数	Z=203 PCD=φ1179.5（销齿）
太阳轮参数	Z=57 PCD=φ325.8 （销齿）
游星轮参数	Z=73 PCD=φ422.6 （销齿）
加工能力	165片/φ50mm，40片/φ100mm，20片/φ150mm
游星轮数量	5个
最小抛光厚度	0.20mm
下盘转速	0-60rpm
下盘电机	11kW AC380V 1460rpm
上盘电机	5.5kW AC380V 1440 rpm
太阳轮电机	1.5kW AC380V 1400rpm
齿圈电机	3kW AC380V 1430rpm
三相电泵	1/4HP AC380V 70L/min
外型尺寸	2530㎜×1680㎜×2830㎜
重量	约7000kg

产品选配表：

上盘电机	●	上盘平衡装置	○
下盘电机	●	龙门结构	●
太阳轮电机	●	全裸结构	●
齿圈电机	●	充氮	○
上下盘水冷	●	防结晶吹气	●
水冷机	○	机械手	○
液压轴承	○

注：●标配 ○可选装

使用环境：

设备应安装在地面平坦，厚度应大于300mm，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

a、温度10℃-25℃

b、相对湿度≤95%

c、电源电压380±38V（三相五线制）

d、压缩空气源 0.5-0.6MPa（干燥的清洁空气）

e、冷却水 10-20℃、0.15-0.2MPa

基本配置：

气动元件	SMC、亚德客等
主减速器	椿本
轴承	国产
工控机	赫瑞特智控
人机界面	赫瑞特智控
拉力传感器	国产
变频器	施耐德
低压电器	213、魏德米勒等
旋钮开关、电器开关	213、和泉等
电机	国产

整机精度指标

下盘平面度小于0.025mm；

下盘端面跳动小于0.06mm；