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当前位置: 首页 » 设备馆 » 半导体加工设备 » 炉类设备 » 高温炉 »DBC专用烧结炉
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    包邮 关注:2561

    DBC专用烧结炉

    应用于半导体行业：

    半导体加工设备-炉类设备-高温炉

    产品品牌

    Centrotherm

    库       存：

    1000

    产       地：

    德国

    数       量：

    减少 增加

    价       格：

    ￥1000.00
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    品牌：Centrotherm

    型号：

    所属系列：半导体加工设备-炉类设备-高温炉

     

    德国Centrotherm用于铜和陶瓷基座直接键和的链式炉设备，总共含有16个温区，主要包括以下的配置:

    用于产生N氮气气封和氮工艺环境的气路系统
    带有MFC的氧浓度控制器（用于工艺区）
    氧浓度测量和检测系统
    带有远程遥控/维护功能的设备控制系统

     

    设备具有以下专门针对高质量DCB生产的优势特点
    非常均匀的温度均匀性
    氧浓度的测量和控制系统
    不产生颗粒灰尘的传送系统
    设备的主要参数如下：
    - Lenght ca. 16.200mm
    - Width ca. 1400 mm
    -Height ca. 1800 mm
    温度均匀性：
    -±1.5K(℃)（1085℃工艺温度时）

    设备控制精度：
    -温度控制: +/- 1K (°C)
    -工艺传送带速度：+/- 1%
    -MFC气体流量控制: +/- 1%
    -氧浓度控制：+/- 5ppm
    -工艺传送带长17.000 mm
    -工艺传送带宽 400 mm
    -工艺传送带速度 50-300 mm/min
    -设备毛重： 12.000 Kg
    -设备功率 200 KW
    Muffle腔的尺寸：
    -工艺传送带宽：400mm
    -Muffle腔高：70mm
    电力供应：
    - 3 phases /N~400/230 V 50/60 Hz
    - 200kW

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    提问:
     
    问

    设备多久能交货？维护这方面是你们公司给做的 吗？

    lkoop  2017-07-21

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