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    E2000-大批量生产的卧式炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备

    产品品牌

    Centrotherm

    库       存:

    1000

    产       地:

    德国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    1000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:Centrotherm

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备

     

    E2000

    大批量生产的卧式炉

     

    centrotherm 2000专为大批量生产而设计,支持多种工艺能力,适用于大批量生产和高工艺性能的用户,并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性,并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管

     

    适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
    特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
    先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
    全自动片架传送系统
    模块化部件设计,便于在洁净室安装调试

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