服务热线
4001027270
客服电话:4001027270
E1550 初步小规模生产的卧式炉
centrotherm E1550 最优化系统,支持多种工艺能力,适用于中等生产能力和高工艺性能用户,是一款安全、可靠、易于维护的卧式扩散炉平台。该炉可高达4层石英管或SiC工艺管, 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势, E1550 可以生产出极具成本效益的产品。
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺 |
|
购买之前,如有问题,请向我们咨询