应用:
主要用于 8 英寸半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二
极管、LED 芯片、太阳能电池、电子基片、压电陶瓷等
的划切加工;适用于包括硅、石英、氧化铝、氧化铁、
砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。
特征:
8英寸有效加工范围,可定制专用工作吸盘。
17”触摸式教学式GUI,操作简单便捷。
*自动对准、刀痕检测功能,提高生产效率。
Y向光栅尺闭环控制。
直光、环形光,工件观察清晰。
加工状态实时监控。
工厂自动化模块。
Automatic Dicing Saw AR6000
江苏京创先进电子科技有限公司
地址:江苏省常熟市四海路 11 号科创园 2 号楼 邮编:215513
电话:0512‐52969660 传真:0512‐51929760 网址:www.jcxj.com.cn
京创先进
■ 使用条件 •请使用大气压露点在-15℃以下残余油分为0.1ppm,过滤度在0.01μm/99.5%以上的清洁压缩空气。 •请将放置机械设备的房间室温设定在20℃〜25℃之间,并将波动范围控制在±1℃以内。 •请将切削水的水温控制为室温+2℃(变化波动范围在±1℃以内),将冷却水的水温控制为与室温相同(变化波动范围在±1℃以 内)。 •其他,请避免设备受到撞击及外界的有感振动。另外,请不要将设备安装在鼓风机、通风口、产生高温的装置及产生油雾的装置附近。 •本设备会使用水。万一发生漏水影响,请把本设备安装在有防水性之地板及有排水处理之场所。 •(*)为非标准配置。
AR6000技术规格 最大工作物尺寸 mm ø8"
X轴 可切削范围 mm 210
进刀速度输入范围 mm/s 0.1-500
Y轴 可切削范围 mm 210
单步步进量 mm 0.001
定位精度 mm
0.005以内/210 (单一误差)0.003以内/5
Z轴 有效行程 mm 32.2(使用ø2"切割刀片时)
移动量分辨率 mm 0.0005
重复精度 mm 0.001
可使用的最大切割刀片直径 mm Ø58
θ轴 最大旋转角度 deg 320
主轴 额定输出功率 kW 1.5at30,000min-1
额定扭矩 N・m 0.48
旋转数范围 min-1 3,000~40,000
可使用的最大框架 - 8"
其他规格 电源 V
三相AC380V±10% 上述以外需配置变压器
耗电量
加工时 kW 0.5(参考值)
暖机时 kW 0.3(参考值)
最大耗电量 kVA 3.5
压缩空气供给压力 Mpa 0.5-0.8
压缩空气最大消耗量 L/min(ANR) 200
切削水压力 Mpa 0.2-0.4
最大消耗量 L/min 4.0
冷却水压力 Mpa 0.2-0.4
最大消耗量 L/min 1.5(在0.3MPa时)
排风量 m3/min 1.5
设备尺寸(W×D×H) mm 600×970×1,600
设备重量 kg 约750