ZZSX系列镀膜机用于多层膜的镀制可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜_等离子沉积设备_镀膜设备_半导体加工设备_设备馆

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ZZSX系列镀膜机应用范围：
主要用于多层膜的镀制，可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。
ZZSX系列镀膜机技术特点：
根据需要可以增加或提高配置，如真空系统选用分子泵、低温泵；真空室配低温捕集器；膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪；辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。

ZZSX系列镀膜机主要技术参数：

型号参数			ZZSX-500	ZZSX-700	ZZSX-800	ZZSX-1100	ZZSX-1200	ZZSX-1350
结构形式			箱式前开门后置抽气系统
真空室尺寸宽×深×高/mm			500×500×680	700×700×860	800×800×1000	1100×1100×1200	Φ1200×1200	Φ1350×1240
极限压力/Pa			≤5×10-4Pa
抽气时间/min			从1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20
蒸发源	e型270磁偏转电子枪	加速电压/KV	6,10两档可切换
		数量/套	1		1（根据用户需要可安装2套）
		功率/kv	6				10
		坩埚容积/ml及穴数	20×4（或110环形坩埚）				22×4（或120环形坩埚）
	电阻加热式	电压/v	5,10
		功率/kw	2.5			5
		水冷电极/对数	2/交替蒸发
工件架类型及尺寸/mm			整体拱形夹具Φ460	4片拱形夹具Φ650	4片拱形夹具Φ740；行星夹具Φ450×3任选一种	4片拱形夹具Φ1000；行星夹具Φ770×3任选一种	4片拱形夹具Φ1100	4片拱形夹具Φ1240
工件烘烤		功率/kw	4.5	4.5	9		13.5
		温度/℃	350
直流离子轰击		最高电压/v	3400
		额定功率/kw	1			1.5
真空系统配置			K-400油扩散泵系统	KT-500油扩散泵系统	K-600油扩散泵系统	KT-600油扩散泵系统	K-800油扩散泵系统	双套K-600油扩散泵系统
光学镀膜控制			光纤光路，透,反射控制，波长380nm-760nm（可扩展至380nm-1100nm）
水冷		水压/Pa	～2.5×105Pa
		水温/℃	<25
压缩空气/Pa			(5-8)×105Pa
总功率/kw			22	25	35	46	54	56
占地面积/mm长×深×高			2600×2500×1900	2800×2700×2100	3200×3200×2400	3500×3600×2600	4000×3600×2600	4200×4000×2800

北京北仪创新真空技术有限责任公司（原北京仪器厂）创建于1954年，总部位于中央商务区（CBD）的中心位置。生产基地位于大兴工业开发区，占地面积31064平方米，建筑面积45504平方米。2003年通过ISO-2000质量体系认证。共有真空获得、真空测量、真空应用三大类产品，从低真空到超高真空30多个系列160多个品种。产品广泛地应用于航天航空、电子信息、光学产业、冶金、建筑装饰、食品、纺织、电力环保及新能源等行业。经过50多年对真空技术的探索，通过与全国多所大专院校、研究院所进行的多次合作开发，以及公司研发人员不断的创新与研发，北仪创新公司始终站在中国真空行业的前沿。
在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术（DC、MC、RF溅射技术）以及PECVD技术等方面处于国内领先，并有多项科研成果获得国家专利。近年来，为多个院校、研究院所开发制造多台用于研究薄膜太阳能电池的实验室设备。在拥有成熟的真空技术的基础上，2006年北仪创新公司研制成功了国内首条自行设计制造的非晶硅薄膜太阳能电池生产线，其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术，用于生产大型玻璃光电模板一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积，在相对低的设备投资下取得较高的大面积模板的产量，产品的性能指标达到国际同等水平，设备销往广东、福建、浙江等地区，改变了以往我国非晶硅薄膜电池生产线依靠进口的现状。

北仪创新公司一贯秉承并将继续坚持“诚信精益”的企业精神，不断汲取客户的建议及业界的先进技术，以“顾客先导持续改进”的价值观在合作中实现共赢。