JP系列镀膜机适用于企业批量化生产高致密度高结合力薄膜_磁控溅射机_镀膜设备_半导体加工设备_设备馆

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JP系列镀膜机适用范围：
适用于企业批量化生产高致密度高结合力薄膜。
JP系列镀膜机技术特点：
配备DC或RF磁控溅射源，侧面溅射，可溅射金属和介质材料；溅射靶可方便清洁和更换；工件架鼠笼式多边型结构或公自转结构，装夹量大，适应性强。

主要技术性能参数：

型号Model 参数Parameter	JP-700	JP-900
溅射室尺寸∕mm	Φ700×860	Φ900×1200
溅射方向	侧面溅射
溅射室类型	立式前开门方式
极限压力∕Pa	5×10^-4
抽气时间∕min	从1×10⁵Pa至2×10^-3Pa≤20
溅射工作压力∕Pa	10-10^-1
真空系统	油扩散泵系统气动阀门
溅射靶尺寸∕mm	80×740	120×1050
溅射靶数量	1个或2个
靶电源功率∕kWS	1套DC10	1套DC25
工作旋转∕r•min^-1	3-12
工件盘直径∕mm	-	-
烘烤温度∕	室温至300 可调
工艺气体控制方式	一套质量流量控制器，一套自动压强仪
冷却水流量∕L•min^-1	20	25
水压∕kPa	2.5×10⁵
进水温度∕℃	≤25
压缩空气∕kPa	（5-8）×10⁵
用电功率∕kW	25	60
占地面积∕mm 宽×深×高	2000×2500×2100	2500×3000×2300

北京北仪创新真空技术有限责任公司（原北京仪器厂）创建于1954年，总部位于中央商务区（CBD）的中心位置。生产基地位于大兴工业开发区，占地面积31064平方米，建筑面积45504平方米。2003年通过ISO-2000质量体系认证。共有真空获得、真空测量、真空应用三大类产品，从低真空到超高真空30多个系列160多个品种。产品广泛地应用于航天航空、电子信息、光学产业、冶金、建筑装饰、食品、纺织、电力环保及新能源等行业。经过50多年对真空技术的探索，通过与全国多所大专院校、研究院所进行的多次合作开发，以及公司研发人员不断的创新与研发，北仪创新公司始终站在中国真空行业的前沿。
在真空测量技术、真空获得技术、光学多层全自动镀膜技术、通用磁控溅射及多靶磁控溅射技术（DC、MC、RF溅射技术）以及PECVD技术等方面处于国内领先，并有多项科研成果获得国家专利。近年来，为多个院校、研究院所开发制造多台用于研究薄膜太阳能电池的实验室设备。在拥有成熟的真空技术的基础上，2006年北仪创新公司研制成功了国内首条自行设计制造的非晶硅薄膜太阳能电池生产线，其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术，用于生产大型玻璃光电模板一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积，在相对低的设备投资下取得较高的大面积模板的产量，产品的性能指标达到国际同等水平，设备销往广东、福建、浙江等地区，改变了以往我国非晶硅薄膜电池生产线依靠进口的现状。

北仪创新公司一贯秉承并将继续坚持“诚信精益”的企业精神，不断汲取客户的建议及业界的先进技术，以“顾客先导持续改进”的价值观在合作中实现共赢。