HLI-A型白光干涉垂直扫描表面形貌综合测量仪红星杨科技_表面轮廓仪_表面形貌测试_半导体测试设备_设备馆

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HLI-A型白光干涉垂直扫描表面形貌综合测量仪是基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析
1.产品型号：WLI-A

2.产地：中国武汉

3.产品功能：基于光学干涉原理，实现超精密加工表面形貌和MEMS、光刻等表面结构的非接触精密测量，帮助表面形貌功能质量评价和工艺分析。

4.特性参数

型号指标	HLI-A	HLI-C
放大倍率	10╳， 20╳，50╳
垂直分辨率 (nm)	0.1
垂直范围(mm)	0.08	4mm
水平分辨率(um)	3.0 (10倍)， 1.0 (20倍)，0.5 (50倍)
水平范围(mm2)	2×1.5/10╳，1×0.8 /20╳，0.4×0.3 /50╳	20×20
输出标准化参数	二维粗糙度参数(ISO25178)：Ra，Rz，Rz，Rmax，Rp，Rq，Rpm，Rvm，R3z ,Wt，Pt，Tpa Ra 三维粗糙度参数(ISO25178)：Sa, Sq, Sp, Sv, Sz, Ssk, Sku, Sal, Str, Sds, Sdq, Sdr, Ssc

5.应用实例

（1）H=1.2μm标准单刻线样板测量

（2）Ra=1.732μm标准多刻线样板测量

（3）MEMS结构表面MEME-1测量结果

（4）MEMS结构表面MEME-2测量结果

（5）MEMS结构表面MEME-3测量结果

（6）MEMS结构表面MEME-4测量结果

6.经典应用领域：

（1）质量管理

（2）工艺控制

（3）产品研发

武汉红星杨科技有限公司（简称“红星杨科技”）是致力于光机产品制造商和系统解决方案提供商的创新型企业。

红星杨科技通过资源整合吸纳了包含高校和研究所在内的高端科研技术资源，为公司远景发展创造了坚实的基础；主营业务包含：精密位移平台、精密运动控制、光学平台、光学调整架、光机系统仪器、作物表型仪器、进口光机产品。红星杨科技将立足于光电产业，坚持高科技、高价值、高效益三大目标，打造实力品牌优势、系统优势和价值优势的知名光电企业。

今天；明天，无论在工业自动化、计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，红星杨科技的产品和技术将得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。红星杨科技“聚焦科技之美，创造光机精品”!