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4001027270
本设备主要用于高温扩散、氧化、退火等工艺
主要特点：
1）控温精度高，可重复性好；
2）设备使用寿命长，维护方便，维护成本低
主要型号及技术指标：
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1350型 |
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1）形式：卧式、立式 2）使用温度：≤1370℃ 3）控温精度：优于±0.2℃ 4）恒温区长度及精度：800mm，±0.2 5）适用工艺尺寸：2-8寸 6）控制方式：微控 |
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1650型 |
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1） 形式：立式 2） 使用温度：1370℃-1650℃； 3） 控温精度：优于±0.2℃； 4） 恒温区长度及精度100mm，±0.5℃； 5） 适用工艺尺寸2-6英寸； 6） 控制方式：全自动微机控制； 7） 工艺腔体环境为水冷真空或是保护气体； 8） 真空度1×10-5pa； 9） 工艺气体：根据客户需求定制 10）气路系统气密性 1×10-7pa.m3/s |
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2000型 |
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1） 形式：立式 2） 使用温度：1650-2000℃； 3） 独特的闭环温度控制系统科学可靠，控制精度高，可重复性好； 4） 恒温区长度及精度：100mm，±1℃ 5） 适用工艺尺寸：2-6英寸； 6） 工艺管材料性能稳定，洁净效果好； 7） 控制方式：全自动微机控制； 8） 工艺气体：根据客户需求定制 9） 气路系统气密性 1×10-7pa.m3/s |
