760 高精度真空计_压力_传感器_半导体器件_设备馆

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▲适用于与Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体
▲绝对压力范围：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介绍
Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr 到1000Torr。测量单位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作电压是15VDC，输出0~10VDC 或0~5VDC，输出与压力成线性关系，而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针D 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD 抑制元件以及输入输出的RFI 过滤等技术，Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一个完整的滑面，很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真空接头。Model 760 中高精度的压力传感元件VactronSensor，是在Setra 专利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件中央有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra 独特的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特专利技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了卓越的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
注：Setra 坚持严格的质量标准ANSI-Z540-1。此产品的标定源于NIST。

应用
● 半导体过程工具和装置
● 实验室和研究开发
● 实验和测量
● 度量
● 分析化学系统
特点
■ 卓越的热稳定性
■ 出众的EMI/RFI 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的Inconel® 湿部件
■ 多种压力连接和电气连接方式
■ 符合CE 标准