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    管式气氛炉/管式真空炉/管式电阻炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-气氛炉

    库       存:

    5

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-气氛炉

     – TL1400 管式炉 – 

        这款管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和30 段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用 1600 型氧化铝 多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快 速升降温,99 刚玉管两端用不锈钢法兰密封,用 流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面 温度低、升降温速率快、节能等优点,是高校、科 研院所、工矿企业等做高温气氛烧结、气氛还原、CVD 实验、真空退火用的理想产品。

     

    组件配置:

    一、控温仪表:                : 采用宇电程序控温仪表

    1、30段程序控温智能PID调节。

    2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1420度或热电偶

          烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电

          炉)。

    3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

    4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

    5、仪表具有温度自整定的功能

    二、炉膛材料:采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

    三、加热元件: 采用Dia12mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低, 使用使用长。

    四、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

    五、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上

    观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的

    温度数据保存起来,随时可以调出。

    六、控制系统:1、电器:正泰,    2、可控硅:德国西门空106/16E,    3 触发器:移相触发

    七、密封系统: 该炉顶盖和炉门(其他地方已经焊接好)均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,

        气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

    八、真空系统(选购):  可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国进口分子泵。

    九、供气系统(选购):客户可通过供气系统上的浮子流量计或质子流量计控制气体的流速。

     

    各种规格尺寸:

    型号

    功率

    (kw)

    电压

    (V)

    加热区长度(mm)

    炉管

    尺寸

    额定

    温度

    最高 温度

    热电偶型号

    加热元件

    升温速率

    TL1400-Ⅰ

    4

    220

    300

    Φ40×800

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-Ⅱ

    4

    220

    300

    Φ60×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-Ⅲ

    4

    220

    300

    Φ80×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-IV

    6

    220

    300

    Φ100×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    TL1400-V

    7

    220

    300

    Φ120×1000

    1350℃

    1400℃

    S

    硅碳棒

    ≤20℃/min

    (可以根据客户的要求进行定做)

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