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1.本石英钟罩清洗设备是手动的半导体工艺清洗湿台，适用于LPE外延炉PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗,为钟罩清洗部分和浸泡部分共同组成；
2.整机主要由机架、操作台面、排风、清洗槽体、电器控制系统组成, SUS不锈钢制作，外包PP板；
3.清洗时，石英钟罩竖放其中，可作360度旋转，速度为5RPM；旋转台直径为500mm；
4.并配有氮气吹干槽；
5.还根据客户要求设计制作此石英钟罩清洗设备。
