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非接触式测厚仪介绍：
是一款高性能高精密的测量仪器，可以不接触样品表面进行厚度测量。这种方式可以避免接触测量引起的表面损伤，特别适用于软脆材料及对样品表面质量高要求的测量.该仪器能非常理想的用于半导体、光学及电光材料厚度的测量应用。
功能：
在线实时测量监控、数字显示。
设备原理：
采用无污染气脉冲测量法，通过气脉冲，在晶圆表面形成均匀气膜，对被测物进行非接触、无损伤厚度测量，采样速度快精度高，性能稳定，操作简单。
技术参数：
测量臂带细调功能
测量范围:0-180毫米
厚度范围0～500mm（或可按要求设定范围）
样品尺寸：8英寸及以下尺寸
读数精度：0.1um
测量精度：1um
适用范围：
适用于半导体材料的测量，如：磷化铟、碲锌镉、砷化镓、蓝宝石、硅片等，其他材料：陶瓷片、薄膜、高度抛光表面样件等。
