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    Filmlab-S100 溅射台

    库       存:

    1

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-镀膜设备-磁控溅射机

     Sputtering for Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、ITO、and magnetic materials

     

    base : 4inch 6inch 8inch

    Uniformity: ≤±4%

    Deposition rate:According to the different materials

    Gas :  Ar、N2、O2 and customer order

    baking: 120° or can be order

    Film thickness monitor:can be order

    Co-sptttering:can be order

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    提问:
     

    请问设备使用的靶材是平面型的还是辊型的?靶材的利用率能达到68%吗?

    dfft  2017-08-03

     您好,是平面型,园靶材,不是大型生产设备,利用率到不了68%这么高。
    谢谢

    2017-08-12

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