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    Filmlab-Si100 深硅刻蚀机

    产品品牌

    PLSM

    规格型号:

    Filmlab-Si100

    发货期限:

    合同签订6个月天

    库       存:

    1

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:PLSM

    型号:Filmlab-Si100

    所属系列:半导体加工设备-刻蚀设备-高密度等离子体刻蚀机

     该设备主要应用于MEMS等微传感器,深结构加工中。
    欢迎咨询,订制。

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    提问:
     

    最深能切多深,最深处的离子束径宽尺寸多大?

    wole  2017-07-28

     您好,我们的设备是等离子体刻蚀设备,不是等离子体切割设备,
    该设备主要用在MEMS工艺中的深硅刻蚀工艺中,
    4inch,6inch wafer 我们都可以刻穿,
    设备是单片式设备,不是cluster,不能跑整个片盒。
    请您慎重考虑,如果您需要深硅刻蚀设备,可以进一步沟通。谢谢

    2017-07-28

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