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产品特点:
◆主机为水平一至四管炉系统构架,能独立完成不同的工艺或相同工艺
◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行全自动控制
◆采用悬臂式送片:操作方便、无摩擦污染等
◆关键部件采用进口器件,确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),气体流量采用质量流量计(MFC)控制
◆控温精度高,温区控温稳定性好;
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命
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