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总览:
本系列Spin Coater、Spin Processor突破传统设计理念,将顶尖工业设计与人体工学曲线完美融合,为高端用户精心打造的一款集高智能系统与完美外形于一体的尖端机型。
1、面对高端用户严格苛刻工作需求的高智能旋涂仪。
2、增强聚丙烯(reinforced polypropylene,简称RPP)材质构造:极佳的物理性能和化学稳定性--无毒、无臭、无味,耐水蒸汽性、耐化学腐蚀性和耐蠕变性等更加优越性能。
3、11英寸和14英寸两种不同规格内径桶状处理工作腔体。
4、三种不同外形形式结构:台式一体式、分离式、特殊环境内置式;可选择台面式,和用于湿站或者手套箱系统的不同构造。
5、内置高精度真空度传感器。
6、可选三种不同工作状态:真空吸附、盘式装片、真空盘式。
7、可编程的双语程序控制系统;转速稳定度精确至±0.1 %,最高转速可达10000RPM。
8、本系列机身设计可拓展为自动滴胶型,即自动滴胶-旋涂仪;
9、面对实验室严格苛刻条件需求,本机已配备惰性气体设计;
10、面对相关行业需求还可增加去边(刮边)功能;
优势:
1、高智能数码控制器:
本机搭载高效稳健的高智能程序控制系统,具有卓越的操作性能,可随心调控并完美实现均匀调速与时间。触摸式调控程序,设置可达26种不同规格尺寸Wafer的工作程序, 每段工作程序又可以设置多达51步不同的旋转涂敷速度状态,包括加速度和负加速度;转速性能更高,最高转速可达10000 RPM,精度更加精确,其稳定度为±0.1 %,为行业最苛刻最高标准;时间调整以秒为精度,旋涂时间最长可达9999秒,制膜工作过程控制更加精确。
智能操作系统内置有人性化的旋涂固定操作程序,用户可随时调出使用修改,并可设置储存为用户经常使用程序,极大的提高工作效率。
数码显示屏实时显示旋涂工作过程,工作状态等情况一目了然。
采用经调校后的低噪大转速伺服电机,运转更平稳、速度更快,摩擦更小、离心力更大,涂敷光刻胶等胶液更均匀。
2、全球独创的“真空吸附、盘式装片与真空盘式”三种不同工作状态完美结合却又完全细分.
(1)真空吸附
真空吸附工作状态:配置高性能无油真空帮浦系统。由于内置高灵敏真空度传感器,智能程序控制系统可实现实时检测旋涂工艺过程真空度,使吸附中的Wafer更加坚固、最大可能避免了甩片导致实验失败的现象;本机在启动时,若操作系统真空度未达所需标准状态,智能控制系统具有自动停机保护性能,避免Wafer的破损和胶液的浪费。
(2)盘式装片
盘式装片工作状态:无需高性能真空帮浦系统即可工作。不仅方便小巧轻薄的基底材料同时亦非常适合大面积和笨重厚重的基底材料涂敷工作,并且完全涂敷基底材料所有表面,非常方便特殊基底材料涂敷。
(3)真空盘式
真空盘式工作状态:将真空吸附和盘式装片工作状态结合,即同时配置高性能真空帮浦系统与特殊真空装片盘工作,同时拥有真空吸附和盘式机构的优势,使工作中的Wafer更加安全可靠。
小巧、轻薄、大面积、厚重或笨重的基底材料:一次性提供最完美的全方位解决涂敷工作方案!
3、高性能伺服电机,转速更高、精度更精确.
4、机身设计可拓展为自动滴胶型,即自动滴胶-旋涂仪;
5、面对实验室严格苛刻条件需求,本机配备惰性气体设计;
6、面对相关行业需求还可增加去边(刮边)功能;
电源电压:100V/ 60Hz 或110V/ 60Hz 或220V/ 50Hz
旋转涂敷:300 - 10000 r/min ;匀胶时间:1---9999秒
转速稳定性: ±0.1 % ;最高转速:10000 RPM
基底材料适用范围:
(1)11英寸的RPP材质内径桶状处理腔体适合10英寸及以下和(7英寸*7英寸)180mm*180mm及以下规格的基底材料(如Wafer等)工作。
(2)14英寸的RPP材质内径桶状处理腔体适合13英寸及以下规格的基底材料(如Wafer等)工作。
本机同时在欧州、美国、大中华区(含新加坡、台湾、香港、澳门)等区域营销服务,为方便全球各区域用户语言使用习惯操作,因此在本机中设置存储了中文和英文两种全球主要官方语言程序。
原装附机设备与配件:
1、高性能无油真空帮浦
2、高性能滴胶机
3、真空吸盘:所选材质为聚四氟乙烯,具有抗酸碱抗各种有机溶剂、耐高低温、电绝缘性、无毒害、摩擦系数极低,可防止涂敷工作过程中任何胶液粘附。
4、特殊装片盘 (选配)
5,可增加去边功能(选配)
全套原装标准化配件,原厂服务、使用效果更加保障。
6,高性能空气压缩机
原装配件优中选优,使用寿命更长、性能更优。
国际专业化设计,与科研工作环境相匹配、安全可靠、体验人本科技。
国际专业化制造,材质优中选优,性能稳定出色。
国际专业化检测,标准严格,国际质量。
全球首度整合真空吸附与盘式装片工作状态,高强度材料、集多项尖端技术一体化集成。智能化操作,加之整体考究配套,使之性能更加安全、稳定、可靠!
创新与经典完美结合,气质非凡,雍容华贵.
下面请您根据需要涂敷基底材料的大小选择相应的旋涂仪型号:
颜色:白灰色
CPN-SC-ISO5560CE
1、RPP材质构造台式一体化,即桶状处理工作腔体与高智能数码控制器一体;
2、11英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下规格的Wafer工作;
4、最普遍常用型号最受欢迎的旋转涂敷仪系统;
CPN-SC-ISO5580CE
1、RPP材质构造台式一体化,即桶状处理工作腔体与高智能数码控制器一体;
2、14英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷13英寸以下规格的Wafer工作;
4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范围(14英寸);
CPN-SC-ISO6560CE
1、RPP材质构造同时外置式带高智能远程控制系统,即桶状处理工作腔体与高智能数码控制器分离设置;
2、11英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下规格的Wafer工作;
CPN-SC-ISO6580CE
1、RPP材质构造同时外置式带高智能远程控制系统,即桶状处理工作腔体与高智能数码控制器分离设置;
2、14英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷13英寸以下规格的Wafer工作;
4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范围(14英寸);
CPN-SC-ISO8560CE
1、RPP材质构造同时内置式带高智能远程控制系统,即桶状处理工作腔体在特殊环境下可以内置式安装,同时工作腔体与高智能数码控制器分离设置;
2、11英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下规格的Wafer工作;
CPN-SC-ISO8580CE
1、RPP材质构造同时内置式带高智能远程控制系统,即桶状处理工作腔体在特殊环境下可以内置式安装,同时工作腔体与高智能数码控制器分离设置;
2、14英寸内径桶状处理工作腔体;
3、可涂敷13英寸及以下规格的Wafer工作;
4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范围(14英寸);
高性能无油真空帮浦:
优势:
超低真空,超低静音,体积轻巧,外形美观,结构简单,维修容易,更易保养,完全无油气,环保,保持工作环境免受污染。
国际标准:真空帮浦铝合金材质构造
安全:风扇处外置式风扇盖,完全将在工作状态下可能杂物进入风扇处而引起的不安全因素排除。
帮浦表面处理按中国台湾行业标准处理:喷亮漆
额定电压/频率 V/Hz:100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz
热保护器℃:自动复位130±5℃
最大真空度KPa:-740mmHg
最大空气流量 m3/h:6.0m3/h
使用环境温度 ℃:5-40℃
绝缘等级:B
冷态绝缘电阻(常态)MΩ:≥100MΩ
耐电压强度:1500V/50Hz 1min无击穿
高性能滴胶机:
滴胶机采用数码LED显示,按键设定滴胶时间。能够完成精确,一致的滴胶控制。
进气压力:60-100 PSI.
电源电压:100--240 V
指标参数:
电源:AC 220V±10%/50Hz 【 AC 110V±10%/60Hz(可以内部转换)】
消耗功率:<8W
空气源:最大0.99MPa (洁净无润滑的干燥空气)
吐出压力调节范围:0.05MPa--0.99MPa
吐出时间调节范围:可调整DIP程式开关组合得到多种时间模式
0.01秒-1秒;0.1-10秒;0.2-20秒;0.3-30秒
功能模式:手动模式/半自动模式(定量吐出)
真空回吸功能:可调节负压控制至600毫米汞柱
重复精度及吐出频率:精度:±+0.05% 频率:600次/分
最小吐出量:0.01ml
超静音无油空气压缩机(silent oil free air compressor)
电压(Volt./Hz):220V/50HZ
功率(Power):3/4HP(550W)
额定排气量(L/min): 115L/MIN(0公斤)
60L/MIN(4公斤)
储气罐(Tank): 4L最大压力(Pressure): 7 BAR
压力开关:5-7公斤重量(N.W): 24公斤
外观尺寸(Dimensions): 410*190*480
中普尼智能科技有限公司
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