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品牌: 英文品牌:CHINAPONYTM 中文品牌:中普尼 TM
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CPN-PS系列智能型净化多工位匀胶机(旋涂系统、净化系统与真空系统:可四个工位涂胶、净化等级为美国联邦标准)--图1
CPN-PS系列智能型净化多工位匀胶机是集成电路及半导体件生产过程中涂复光致抗腐蚀剂的专用设备,适用于半导体工艺,制板及表面涂覆等工艺.配有专用高标准净化台,匀胶时间和匀胶转数均匀可调,并配有半导体光电转数表,具有多工位、高效率、极限转数高、调速范围大等特点,主要用于科研和生产工艺线对LSI及其它半导体器件作涂胶之用。
设备中涂胶系统由高智能微型机控制,使四个工位同时工作或分别工作,即各工位的运转单独传动,转数单独调节及单独显示。
为保证在涂覆工艺中不飞片,设备中吸头和真空帮浦中间配有四个电磁阀,保证了吸片的牢固性和可靠性。
设备中配有的专用空气净化装置,使操作区净化级别达到百级.
技术参数:
型号与工位数目:
CPN-PS-150/OP型 :一工位----最大能涂覆100(125)毫米直径的基片
CPN-PS-125/TP型 :两工位----最大能涂覆100(125)毫米直径的基片
CPN-PS-100/TP型 :三工位 ----最大能涂覆100毫米直径的基片
匀胶工位:1-4工位;(工位数目可选)
匀胶时间:1-99秒(连续可调).精度为 ≤ ±1%.
匀胶转数:500-8000RPM(连续可调).精度为≤± 3%.
净化效果:100级(美国联邦标准)
操作区风速:0.3-0.5米/秒
有效操作区气流状态:垂直层流
我们的品质:
1,质量高于行业标准.
2、提供免费送货服务,具有良好的售后,24小时响应。
3、客户满意度达到98%以上
CHINAPONYTM(中普尼TM)公司的主要原器件均选用上等产品,其整体性能及智能化方面均是国际上领先的,经CHINAPONYTM(中普尼TM)公司科技部多次检测、实验、调试、再检测、量产等苛刻过程,因此受到了国内众多的高标准、严要求的客户认可,选用率达98%以上。
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