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技术参数
1.分辨率:高真空(SE)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV
2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
2.放大倍数:4 to 1000000x
3.真空系统:样品室<9*10 -3Pa，枪体真空<3*10 -7Pa
4.加速电压0.5kV to 30Kv
5.电子束电流2pA—100nA
6.样品室内部直径：230mm
7.样品台行程: (5轴马达控制）
X=80mm——马达控制
Y=60mm——马达控制
Z=47mm——马达控制
R=360°连续马达控制
T=-75°to50°马达控制
最大样品高度60mm.
主要特点
国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内**装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.采用气垫减震系统
6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
7.11个外扩展接口.
8.可进行远程控制
