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    1100℃管式炉

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备

    产品品牌

    Facerom

    发货期限:

    3天

    库       存:

    100

    产       地:

    中国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    面议
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:Facerom

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备

     管式炉(T max 1100)

    管式炉设计有开启式和非开启式两种选择,多样化的搭配,满足实验室多种实验的要求,高纯石英管作为炉膛,洁净度高。可获得不同的真空,也可实现多种工艺气体控制。环形加热腔,温场均匀,外形精巧美观,周边拓展性好,适合高校、科研院所实验之用。

    特点

    ► 工作温度RT~1000℃。

    温区个数1~3个可选。

    ► 程序控温仪,智能逻辑PID算法,控制精准。可编辑、储存并调用多段程序,无需重新设置,操作简单。

    ► 执行元件进口SSR精度高,无噪音。

    ► 采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。

    ► 炉壳结构,双层炉壳风冷结构。

    ► 不锈钢双层密封法兰,进、出气阀采用美标针阀。

    两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管使用寿命。

    ► LED高强度、抗破坏、全不锈钢按钮,经久耐用。

    ► 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。

    ► 安全保护当炉体漏电时自动断电。

    ► 额外选配:炉内测量系统:(氧含量检测系统、温度检测系统);

    真空系统:(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);

    气氛系统:(浮子流量计、质量流量计);

    监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);

                  注:选件需配置拓展柜

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