真空脱气炉_其他_镀膜设备_半导体加工设备_设备馆

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制造公司：百腾科技（苏州）有限公司
型号：PTD-6H
最大容量：60KG
尺寸：
工作环境和温度：0-50℃ ≤95%RH
工作时间：连续运行超过30天
产地：中国
重量：
电源：三相380V 50Hz
地基：具备承载中型设备的钢筋混凝土平整地面，无其他特殊要求
用途：此设备可以除去产品里面水汽和油污的，以及加快真空镀膜机（或其它真空设备）抽真空的速度。
1.产品综述
　　在真空镀膜之前，工件需要经过清洁处理，如果工件表面，周围或者内部存有气体，水汽，油污等，哪怕只有一丝残留，那么系统就容易产生气阻，影响抽真空速率和难度，延长抽真空的时间，有时甚至真空度一直达不到要求。这就很可能会造成被附着的工件局部或大面积产生气泡，致使成膜率降低。由于真空脱气炉通过充入氮气，并给氮气加热来脱出真空腔体内的空气，水汽，油污等，可大大缩短真空镀膜前，真空镀膜腔体抽真空的时间;也降低了脱气炉系统和真空镀膜系统的有氧腐蚀，延长设备使用时间。（同时由于水汽中含有氧气而使得供热（制冷）设备、管道和钢制散热器有氧腐蚀，造成穿孔、漏水。系统中存有气体还会造成水泵的腐蚀，直接影响到整个系统的安全。真空脱气机采用真空脱气方法，便捷地循环脱除系统内的游离气体及溶解性气体，使得系统能够安全可靠运行。）脱除脱气炉系统中的气体，防止气阻，保证系统正常运行期间稳定可靠综上所述，真空脱气炉可以很好的去除游离气体，水汽，油污等，从而为真空镀膜腔体加快抽真空速度，为膜层的形成提供良好的真空环境。
2、应用范围
适用于各种真空镀膜之前，工件的清洁处理（气体，水汽，油污等）
3.技术特点
由真空脱气炉通过充入氮气，并给氮气加热来脱出真空腔体内的空气，水汽，油污等：
1、可大大缩短真空镀膜前，真空镀膜腔体抽真空的时间;
2、降低了脱气炉系统和真空镀膜系统的有氧腐蚀，延长设备使用时间。
3、产品表面上不会附有气体气泡，增强真空镀膜的附着力。
4、为真空镀膜，膜层的形成提供良好的真空环境。
5、保证系统正常运行期间稳定可靠。
6、设备安装方便，全自动运行，安全可靠，易于维修保养。