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4.1.1 吸取上料、料盒上料
本机同时具备吸取上料和料盒上料两种模式。
4.2 点胶系统
本机采用双点胶结构以此提升大胶点的整机速度。
4.2.1 参数控制点胶速度/延迟时间。有效保障点胶稳定、胶量分布均匀一致,无漏点现象。
4.2.2 其视觉系统对每个点胶位进行逐一识别,X 、Y向可以通过视觉系统自动进行补偿。Z 向具有自动测高功能。
4.3 视觉系统
高清晰度的图象识别系统,点胶部相机,绑定部相机,wafer部相机三部分。绑定部相机对上芯前的胶点大小进行检查(以胶点面积进行判定,不合格工位绑定报警,消除报警后,跳过不合格位,进行下一位绑定),对上芯后的芯片状态可以进行检查确认(称之为绑定后检查)。针对点胶后状况、固晶后状况,及时监视有效降低不良品的发生几率,便于及时发现、及时处理。
WAFER相机 能识别墨点;蓝膜:蓝、绿、不返光的透明色。墨点:黑色,单芯片墨点占比大于10%,整个圆片墨点率小于10%;自动跳过项目:墨点、碎片(大于芯片面积10%);
4.4 绑定系统
高速运行、稳定、可靠,取片定位精确,无漏片现象;自动实现芯片预识别,墨点、空位自动跳过;具有漏晶、漏装检测功能;粘片角度由绑定部自动识别,360°可旋转不同角度(角度可以设定)粘片。X、Y 向可以通过视觉系统自动进行补偿。
4.5 轨道搬送系统
搬送系统采用X方向夹爪搬运方式,搬运步距根据框架参数自动调整;X向搬运过程中治具表面有定位压爪,保障传送精确、料片在工装上平整、平稳、可靠,保障轨道全程畅通。
4.6 顶针系统
预顶高度、顶起高度参数可调;可实现单顶针或多顶针装片,多顶针时多顶针尖共面;4顶针结构可满足2-6mm尺寸的芯片范围。单针和4针同时兼容。
4.7 Wafer台系统
●6寸自动扩片 ●8寸自动扩片 ●12寸自动扩片;
适用于6英寸晶圆片的晶圆环手动上片系统,WAFER平台自动扩片功能,扩片均匀。
具备更换8英寸晶圆台功能。WAFER平台与顶针部有防撞功能。WAFER平台X Y 轴运行平稳、可靠,定位精确,无马达失步现象。
4 .8 下料系统
将工装料盒输送到下料平台上,如果平台上产品积累到一定数量后报警提示操作人员拿走。
4.9 控制系统
pc联机控制。保障设备高速、可靠稳定运行,并可提供生产数据(具有自动计数功能)便于生产管理者对装片数量、报警提示信息的记录。
软件系统具备管理生产日志(可供买方输入流程卡号、产品型号、对应的生产数量,有达到生产量后自动提示停机功能。)单片wafer芯片数量等功能。
软件具有WAFER MAPPING功能。
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