主要技术规格：
1、平面平晶 YDF-1标准外形尺寸单位：mm
规格30 45 60 80 100 150 200 250
直径30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45
特殊规格尺寸平面平晶，环形平面平晶，方形平面平晶可定做。
2、平面平晶制成两种精度：1级和 2级
3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为：
直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm
直径为 30至60mm 2级平晶 0.1μm
直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm
直径为 80至150mm 2级平晶 0.1μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据国家标准。
4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为：0.03μm
5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。
检测方法：用干涉条纹来计算平晶的面形误差 如果要定量计算，一般最好是用移相干涉法，可以得到每一点的相对高度，从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图，就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集的直线组，然后用傅里叶变换法求解。 如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了，如果条纹都是直条纹，说明面形是好的，如果条纹弯的就说明面形不好，弯的越厉害面形越差。
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