□ 可测片径：3in、4in、6in
□ 显微镜：单目电子显微镜，光学放大倍数0.35X ~ 2.25X
□ 工作台行程：X140mm×Y162mm
□ 工作台速度：X：120mm/s、Y：100mm/s
□ 定位精度：±0.015mm/110mm
□ 重复定位精度：±0.005mm
□ 步进分辨率：0.002mm
□ 承片台Z向行程：0~3mm可调
□ θ向调节范围：±15°
□ XY向自动对准精度：≤0.02°
□ 扫描对准时间：≤20s
□ 外形尺寸：（长×宽×高）660mm×850mm×1400mm
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