台式扫描电镜SNE-4500P_扫描显微镜_显微镜分类_半导体测试设备_设备馆

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A. 技术参数

1. 分辨率： 5nm (30kV, SE Image)

8nm（30kV, BSE Image）

2. 放大倍率：30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)

3. 加速电压 : 1kV to 30kV (1Kv/ 5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

4. 对焦方式：自动/手动同时支持两种模式

5. 图像：

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像-（BSEI）- Backscattered Standard Mode

6. Observation mode : Standard Mode

7. 电子枪系统:

灯丝类型：预对中钨灯丝

偏压系统：自动偏压方式

电子枪校正：手动方式

8. 透镜构成

i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜

ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜

9. 探测器类型：E-T Detector

10. 载物台系统：5轴操控

- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°（自动控制）

- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°

11. Image shift: X, Y Image Shift (100㎛)

12. 样品最大尺寸 :80mm in diameter, 35mm in height

13. 图像扫描速度

1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

14. 自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

15. 图像存储方式

BMP, JPEG, PNG

16. 数据显示

放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

17. 真空系统

全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空时间：3分钟以内

18. 操控系统：鼠标和键盘

19. 运行系统：电镜专用台式电脑

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

20. 软件：

-图像文件打开，编辑，存储功能

-长度，面积，角度等测量功能

-设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

21. 体积：

设备主机-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set

控制主机-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

22. 重量：98kg

23. 设备环境：

-温度：15℃~30℃

-湿度：70% or less

-电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz