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EasyCoater 6 匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，程控操作，性能稳定，具有优异的性价比。
结构紧凑：EZ6外型尺寸为：260(W)*358(D)*258(H)，特别适合放于手套箱内操作。最大可旋涂6寸圆晶的底物。
简单易用彩色触屏控制，界面简单易用，且自带帮助功能，提供使用向导，对初次使用者非常方便。
程控操作：提供多步编程旋涂工艺运行，最多可存贮10步10组程序，还可升级自动点胶功能。
性能稳定：工业级直流马达和高级PLC控制，转轴旋转稳定，重复性好；真空系统设计独特，可靠性好。
产品参数说明：
HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能
SUS耐腐蚀不锈钢机身，经久耐用
耐溶剂性PC透明盖子，提供动态和静态点胶方式
4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作
100W直流无刷电机，高级PLC控制
内腔直径180mm，可处理碎片（小于1cm）至6英寸圆晶底物
转速可控范围：100-10000RPM，转速分辨率：1RPM
加速度可控范围：100-30000RPM/S
可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序
带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能
宽输入电压适用：AC100-230V输入
带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全
可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性
产品附件选择：
标配四只真空载物盘（3/16”,1/2”,1”&2.25”），适于碎片至6寸圆晶的处理
定制载物盘可选，根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式载物盘设计加工
用于薄膜基片可提供定制微孔真空吸附载物盘
无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选
4-6寸手持式对中装置可选
盖子上点胶针筒支架手动点胶可选
瓶口分液器手动点胶可选
蠕动泵/点胶机等自动点胶装置可选配
