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    包邮 关注:828

    MEMS专用EVG光刻机

    产品品牌

    EVG

    规格型号:

    EVG610单面/双面光刻机

    发货期限:

    6个月天

    库       存:

    1

    产       地:

    中国-上海市

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

    1.00
    交易保障 担保交易 网银支付

    品牌:EVG

    型号:EVG610单面/双面光刻机

    所属系列:半导体加工设备-光刻设备-双面光刻机

     u 支持背面对准光刻和键合对准工艺

    u 自动的微米计控制曝光间距

    u 自动契型补偿系统

    u 优异的全局光强均匀度

    u 免维护单独气浮工作台

    u 最小化的占地面积

    u Windows图形化用户界面

    u 完善的多用户管理(用户权限、界面语言、菜单和工艺控制)

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    提问:
     

    请问你们这个CCD对准精度多高?衬底尺寸 规格一般都是多少?

    gookjll  2017-08-07

     您好!

    可否留下您的联系方式

    我给您详细的技术参数!

    谢谢

    8寸以下兼容 对准精度 顶部0.5um  底部 1um 

    娄 13122976482

    2017-08-07

    基片的尺寸范围多大?分辨率、对准精度多高?

    sjfh  2017-08-14

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